真空度测试仪

真空度测试仪

本公司郑重承诺：质保期三年。

可定量测量各种型号真空开关灭弧室内的真空度；
现场测量时不需拆卸真空开关；
测试结果准确可靠；
液晶汉字显示，操作更加简单方便；
可保存、打印、查看测试的试验数据；
仪器带有RS232通讯接口，可以连接计算机实现真空度-离子电流曲线下载、寿命估计等多种功能；
仪器重量轻，携带方便；

真空度测试仪

传统的检测方法是“耐压法"，即真空开关处于开断状态下，在动静触头之间施加一定的电压，检测其泄漏电流的大小，由此推断真空管的好坏。这种方法的优点是：操作简单；缺点是：只能定性地检测真空管的好坏；而且真空度在10-5～10-1Pa之间无法准确分辨，所以无法判断泄漏的发展趋势（即同一个真空开关和上次相比有多大程度的泄漏）。

破坏性测试方法常见的是采用针头刺入容器顶空，通过压力（真空度）传感器探测获取真空度，该测试方法在一定程度上会受到管路中空气的影响，可以用于真空度的粗略抽查，在小顶空容器中表现尤为明显。典型的应用是用于粗略的进行密闭容器完整性测试（CCIT）评估，方法是将高真空的西林瓶（抽真空到接近0.1mbar）留样半年到1年，然后观察瓶内真空度。如果里面还有一定真空度，即里面的压力是微负压，说明瓶子是不漏的；相反，如果里面的压力是常压，说明瓶子是漏的。

如果是用于工艺的优化和标准的制定，通常会采用无损的真空度测试方法。无损的真空度测试方法常见的是激光法（即调频光谱法（FMS）），它的基本原理是空气中的O2、水汽、CO2会在一定波段下有激光吸收，并且会得到吸收的图谱,吸收的激光量(在图中是峰高或振幅)和物质的含量成正比，其中水汽的激光吸收图谱中的峰宽（波峰和波谷之间的横向距离）和顶空总压力成正比。因此，采用激光法能够对容器进行无损真空度测试。激光法对真空度的小检出限大约为7mbar，因此能测试出接近真实的真空度。